부산대, 전력반도체 기업 아이큐랩에 SiC 공정 물성분석 기술 이전

부산대, RISE 산학공동과제 통해 기술 2건 이전…부산 기장서 협약 체결

부산대학교가 전력반도체 앵커기업인 ㈜아이큐랩에 SiC(탄화규소) 전력소자 공정 최적화를 위한 물성분석 기술 2건을 기술이전했다. 부산대 산학협력단은 29일 오전 부산시 기장군에 위치한 ㈜아이큐랩 본사에서 기술이전 체결 협약식을 열었다고 30일 밝혔다. 협약식에는 부산대 강정은 산학협력단장, 나노반도체공정·장비계약학과 이해준 사업단장, 서지연 부단장과 아이큐랩 김권제 대표, 정호형 상무 등이 참석했다.

이번 기술이전은 부산대 라이즈(RISE)사업단이 추진 중인 산학공동기술개발과제의 일환으로 수행됐다. 유기소재시스템공학과 김효정 교수와 첨단융합학부 서지연 교수가 참여해 SiC 전력소자 공정 최적화를 위한 물성분석 기술(노하우) 2건을 개발했다. 해당 기술은 SiC 전력반도체 제조 과정에서 공정 조건을 달리하며 소자 표면, 계면, 박막 상태를 분석해 성능과 수율을 개선할 수 있는 공정 조건을 도출하는 데 활용된다.

이번 기술 개발은 부산대 나노반도체공정·장비계약학과 창의융합센터에 구축된 대면적 IR-AFM 자동화 시스템과 대학이 보유한 인적·물적 물성분석 인프라를 기반으로 진행됐다. 부산대는 이를 통해 지역 반도체 산업과 연계한 산학협력과 전문인력 양성 기반을 강화한다는 계획이다. 아이큐랩 김권제 대표는 협약식에서 부산대 연구진과의 협력을 바탕으로 연구개발과 전문인력 양성을 지속해 나가겠다는 뜻을 밝혔다.

강정은 부산대 산학협력단장은 이번 기술이전이 지역 반도체 기업과의 협력을 통해 산학협력 기반을 확대하는 계기가 될 것이라고 말했다. 이해준 사업단장은 고부가가치 제조업 분야에서 대학과 기업 간 지속적인 연구협력의 중요성을 언급했다.

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