명지대 홍상진 교수, 과총 ‘제36회 과학기술우수논문상’ 수상

반도체 챔버 세정 가스를 탄산불화물로 대체하는 친환경 공정 연구… 반도체전공트랙사업 산학프로젝트 교육의 결실

명지대학교(총장 임연수) 반도체·ICT대학 반도체공학부 홍상진 교수가 한국과학기술단체총연합회(이하 과총)가 주관하는 ‘제36회 과학기술우수논문상’을 수상했다. 시상식은 서울 강남구 한국과학기술회관에서 열린 과총 창립 기념식 행사와 함께 진행됐다.

과학기술우수논문상은 전년도에 국내 학술지에 발표된 우수 논문 가운데 학회별 심사를 거쳐 추천된 연구자에게 수여하는 학술상이다. 우수 연구 성과를 발굴·포상해 국내 학술연구 발전을 이끌고 연구자의 연구 의욕을 높이기 위해 제정됐다.

홍 교수의 수상 논문은 ‘친환경 반도체 제조를 위한 탄산불화물 활용 챔버 세정 성능 향상(Chamber Cleaning Performance Enhancement with Carbonyl Fluoride for Green Semiconductor Fabrication)’이다. 반도체 제조 공정에서 발생하는 환경 오염을 줄이기 위해 기존 챔버 세정 가스를 탄산불화물(COF₂)로 대체하는 방안을 다룬 연구로, ‘반도체디스플레이기술학회지’에 게재돼 학술적·산업적 가치를 인정받았다.

이번 연구는 한국산업기술진흥원(KIAT)의 ‘반도체전공트랙사업’ 지원을 바탕으로 전자공학과 반도체트랙 졸업생 허재혁 씨와 함께 진행한 산학프로젝트 교육과정의 결과물이라는 점에서도 의미가 있다. 국가 반도체 인재양성사업과 연계한 실무 중심 교육이 실제 연구 성과로 이어진 사례다.

홍상진 교수는 “이번 수상은 국가 반도체 인재양성사업과 명지대의 반도체 소재·부품·장비 분야 실무 중심 교육이 거둔 구체적인 성과”라며 “앞으로도 친환경 반도체 공정 기술 개발과 현장 맞춤형 인재 양성에 힘쓰겠다”고 소감을 밝혔다.

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